Bruker ContourX-1000 全自动三维光学轮廓仪

产品概述

Bruker ContourX-1000 是用于研发和生产计量的落地式全自动三维光学轮廓仪。白光干涉平台提供小于 0.01 nm 的垂向分辨率，300 mm 自动载物台、自动对焦及镜头内倾斜机构可完成大样品、多点和拼接测量。

Bruker ContourX-1000 全自动三维光学轮廓仪 的页面内容按照型号 ContourX-1000 对应的制造商公开资料整理，重点保留对方案设计和采购选型有用的信息。

核心特点

• 最大扫描范围：≤10 mm。
• 垂向分辨率：<0.01 nm。
• 横向分辨率：0.38 µm；AcuityXR 时 0.13 µm。
• 台阶高度准确度：<0.75%。
• 台阶重复性：<0.125%（1σ）。
• 最大扫描速度：≤122 µm/s（激光参考）。
• 样品反射率：0.05% 至 100%。
• 最大样品坡度：光滑表面 ≤40°；粗糙表面 ≤87°。
• 最大样品高度与质量：100 mm；45 kg。

典型应用

半导体晶圆、精密制造、光学件、MEMS、先进封装、表面粗糙度、台阶和大面积自动计量。

实际方案需结合样品尺寸、材料特性、目标缺陷或测量范围、节拍、自动化程度以及数据输出要求进行设计。

选型提示

选型时建议逐项确认测量原理、样品尺寸、空间与高度范围、精度和重复性、扫描速度、光学配置、自动平台、软件分析功能以及现场安装条件。系列产品和可选模块应按具体料号确认。