布鲁克 Bruker ContourX-1000 全自动三维光学轮廓仪

产品概述

落地式全自动白光干涉三维光学轮廓仪，配备自校准激光、300 mm 自动平台、自动倾斜测头和集成隔振，面向研发及高通量生产表面计量。

核心特点

• 白光干涉 PSI/USI/VSI 多模式测量
• 垂直分辨率低于 0.01 nm
• 最大扫描范围最高约 10 mm
• 300 mm 自动平台与集成隔振

典型应用

适用于半导体、MEMS、精密加工、聚合物薄膜、光学元件和生产线中的粗糙度、台阶、形貌及关键尺寸计量。

选型提示

重点确认样品尺寸和重量、扫描高度、坡度、反射率、自动测量点位、晶圆卡盘、分析软件及计量验收方法。

配置与合规说明

页面依据供应商公开资料整理。具体测量能力受样品、光学配置、测量模式、环境和软件选件影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。