Evident MX63 晶圆检测显微镜

产品概述

Evident MX63 是面向半导体、平板显示与电子器件检测的模块化正置显微镜。UIS2 无限远校正光学系统配合编码部件、白光 LED 和 MIX 定向暗场，可在明场、暗场、DIC、偏光、荧光及红外观察之间建立可重复流程。

Evident MX63 晶圆检测显微镜 对应型号为 MX63。本页以制造商官方产品页、规格表或产品手册为依据，重点整理可用于技术比较的工作原理、结构特点与关键指标。

核心特点

• 光学系统：UIS2 无限远校正。
• 最大晶圆尺寸：200 mm。
• 总放大倍率：12.5×–1500×。
• 观察方式：明场、暗场、DIC、偏光、荧光、红外、MIX。
• 反射光源：高强度白色 LED。
• 孔径光阑：内置电动，可按物镜预设。
• 调焦行程：32 mm。
• 微调每转：100 µm。
• 最小刻度：1 µm。
• 最大载荷：8 kg（含载物台与夹具）。

系统围绕光学成像、运动控制、三维数据采集和分析软件形成完整工作流程，可将观察、测量、结果复核与报告输出统一管理。

典型应用

最大 200 mm 晶圆、集成电路、MEMS、PCB、平板显示器、光刻胶残留、划痕、颗粒、薄膜与封装缺陷检查。

建立方法时应结合样品尺寸、表面反射或透明特性、目标结构尺度、所需测量范围和批量检测节拍设置采集条件。

选型提示

选型应核对测量原理、倍率与视场、高度和横向分辨率、工作距离、样品行程、对比方式、自动化能力及软件模块。历史型号还需确认现行替代产品、附件兼容性与服务支持。