Evident MX63L 大型晶圆检测显微镜

产品概述

Evident MX63L 是针对最大 300 mm 晶圆、平板显示器和大型电路板优化的半导体检测显微镜。大行程载物台、编码观察条件、电动物镜转盘和电动孔径光阑提升检查效率，MIX 定向暗场可同时呈现图案与细微缺陷。

Evident MX63L 大型晶圆检测显微镜 对应型号为 MX63L，页面内容已按制造商官方产品页、产品手册或规格表核对，重点呈现可用于技术比较的真实功能、结构和参数。

核心特点

• 光学系统：UIS2无限远校正。
• 最大晶圆尺寸：300 mm。
• 总放大倍率：12.5×–1500×。
• 观察方式：明场、暗场、DIC、偏光、荧光、红外、MIX。
• 反射光源：高强度白色LED。
• 孔径光阑：内置电动，按物镜预设。
• 调焦行程：32 mm。
• 微调每转：100 µm。
• 最小刻度：1 µm。
• 最大载荷：15 kg（含载物台与夹具）。

围绕光学系统、照明、运动控制、数字成像和分析软件进行模块组合，可把观察、测量、记录与报告纳入统一工作流程，并提高不同操作者之间的结果一致性。

典型应用

300 mm晶圆、FPD、PCB、光刻胶残留、划痕、颗粒、薄膜、磁头、封装、硅片内部红外无损检查及生产质量控制。

建立方法时应结合样品尺寸、表面反射和透明特性、目标结构尺度、观察方式、自动化节拍及数据留档要求设置采集条件。

选型提示

建议确认所需视场、倍率与分辨率、工作距离、样品尺寸及载荷、明暗场或荧光等对比方式、自动化级别、相机接口、测量软件与附件兼容性。对于在售状态可能变化的型号，还应核实现行部件和服务支持。