Evident（原奥林巴斯）MX63L 大型晶圆检测显微镜

产品概述

面向大型晶圆、平板显示和电路板检验的工业显微镜，MX63L 支持最大 300 mm 晶圆，在稳定的大行程平台上实现多种反射光对比观察和数字图像记录。

系统采用 UIS2 无限远光学和高亮度白光 LED，可配置明场、暗场、DIC、偏光、荧光、红外及 MIX 观察，并符合半导体设备相关安全规范。

核心技术与优势

• 支持最大 300 mm 晶圆及大型平面样品
• 总放大范围约 12.5×–1500×
• 明场、暗场、DIC、荧光、偏光、红外和 MIX
• 白光 LED 与物镜联动的光强管理

典型应用

适用于半导体晶圆、平板显示器、光掩模、PCB、玻璃基板和大型电子部件的表面缺陷、图形、污染与工艺检查。

选型与配置建议

确认 200/300 mm 样品规格、平台行程、物镜和倍率、明暗场/红外/荧光/MIX、晶圆装载、相机、软件及洁净室要求。

使用与数据工作流

• 按晶圆或面板尺寸完成安全装载与定位
• 根据缺陷类型切换对比方式和物镜
• 进行区域巡检、图像采集、拼接与标注
• 保存缺陷位置、图像证据和检查报告供复检使用

大样品兼容性和丰富对比方式便于在同一平台完成宏观定位与微观确认，适合半导体和显示器件质量控制。