KLA Filmetrics F50 自动薄膜厚度映射仪

产品概述

采用光谱反射法进行自动多点薄膜厚度映射，可快速测量膜厚和折射率分布；F50 系列按光谱配置覆盖约 0.005 μm 至 2000 μm 的不同膜厚范围。

核心特点

• 光谱反射法非接触薄膜测量
• 自动多点映射和均匀性分析
• 标准 F50 膜厚范围约 0.02–70 μm
• 提供 UV、NIR、EXR、XT 等不同光谱版本

典型应用

适用于半导体、光伏、显示、光学镀膜和材料研发的晶圆、基片及薄膜厚度均匀性测量。

选型提示

应根据膜层材料、厚度范围、光斑、基底和点位数量选择 F50、UV、NIR、EXR、XT 或其他版本。

配置与合规说明

页面依据供应商公开资料整理。实际性能受型号配置、光学组件、样品、环境和软件选件影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。