KLA Filmetrics F50 自动薄膜厚度映射仪

产品概述

KLA Filmetrics F50 是在 F20 光谱反射平台基础上集成自动样品移动与映射的软件化薄膜测量系统，可对多种形状样品进行非接触膜厚和折射率均匀性分析。不同光谱配置覆盖紫外、可见、近红外和扩展近红外区域，适合研发和质量控制中的多点自动测量。

KLA Filmetrics F50 自动薄膜厚度映射仪 对应型号为 Filmetrics F50，本页参数按制造商当前公开产品页或规格资料逐项核对，便于方案比较和采购选型。

核心特点

• 测量原理：光谱反射法。
• 标准膜厚范围：0.02–70 µm。
• EXR 膜厚范围：0.02–250 µm。
• NIR 膜厚范围：0.1–250 µm。
• UV 膜厚范围：0.005–40 µm。
• UVX 膜厚范围：0.005–250 µm。
• XT 膜厚范围：0.2–450 µm。
• 标准波长范围：380–1050 nm。
• 标准光斑：1500 µm。

典型应用

半导体晶圆、光学镀膜、显示器件、聚合物膜、玻璃与金属基底的膜厚、折射率和面内均匀性检测。

建立测量方案时，应结合样品材料、结构尺度、所需数据类型、测量节拍、自动化接口和环境控制条件确定配置。

选型提示

建议重点确认光谱或扫描范围、样品尺寸、空间分辨率、重复性、测量速度、分析软件、自动平台和所需附件。扩展波段、探测器、样品台与应用模块可能属于选件，应按具体料号核对。