KLA Filmetrics F54-XY 自动薄膜厚度映射系统

产品概述

在 Filmetrics F20 系列光谱反射测量基础上增加自动 XY 映射，可对图形化或非图形化样品进行膜厚和折射率分布测量，映射速度最高约每秒 2 点。

核心特点

• 光谱反射法测量薄膜厚度和折射率
• 自动 XY 点位映射与厚度分布图
• 最高约每秒 2 个测量点
• 支持最高约 200 × 200 mm 或 300 mm 圆片配置

典型应用

适用于半导体、光伏、显示、光学镀膜和材料研发中的晶圆、基片与图形化样品薄膜厚度均匀性测量。

选型提示

应按样品尺寸选择 F54-XY-200 或 F54-XY-300，并确认膜层材料、厚度范围、光斑尺寸、折射率模型、点位数量和自动化节拍。

配置与合规说明

页面依据供应商公开资料整理。具体测量能力受样品、光学配置、测量模式、环境和软件选件影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。