KLA Filmetrics F54-XY 自动薄膜厚度映射系统

产品概述

KLA Filmetrics F54-XY 是用于图形化或无图形样品的自动微区薄膜厚度映射系统。它以小至 25 µm 的测量光斑进行反射光谱分析，可选择不同波段配置覆盖从数纳米到百微米级膜厚，并通过自动 XY 平台快速生成厚度和折射率分布图。

KLA Filmetrics F54-XY 自动薄膜厚度映射系统 的页面内容按照型号 Filmetrics F54-XY 对应的制造商公开资料整理，重点保留对方案设计和采购选型有用的信息。

核心特点

• 标准膜厚范围：0.02 至 50 µm。
• UV 型膜厚范围：0.004 至 35 µm。
• NIR 型膜厚范围：0.1 至 115 µm。
• EXR 型膜厚范围：0.02 至 115 µm。
• UVX 型膜厚范围：0.004 至 115 µm。
• 标准波长范围：380 至 1050 nm。
• 扩展波长范围：190 至 1700 nm，依配置。
• 测量光斑：25 µm。
• 映射速度：最高约 2 点/s。

典型应用

半导体晶圆、微电子、光学涂层、薄膜材料、微图形结构、厚度均匀性和研发质量控制。

实际方案需结合样品尺寸、材料特性、目标缺陷或测量范围、节拍、自动化程度以及数据输出要求进行设计。

选型提示

选型时建议逐项确认测量原理、样品尺寸、空间与高度范围、精度和重复性、扫描速度、光学配置、自动平台、软件分析功能以及现场安装条件。系列产品和可选模块应按具体料号确认。