高分辨热场发射扫描电镜 SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus : 日立高新技术在中国

产品概述

Hitachi SU3900SE / SE Plus 是面向大尺寸、重型样品观察与材料分析的高分辨率肖特基场发射扫描电子显微镜。系统兼顾纳米级形貌成像、低真空观察和大样品操作能力，适合科研平台、工业实验室及质量分析部门开展从快速定位到精细表征的连续工作。

核心特点

• ZrO/W 肖特基电子源兼顾亮度、束流稳定性与分析电流，可支持高分辨成像及微区成分分析。
• 在 30 kV 下二次电子分辨率可达 0.9 nm；SE Plus 配置支持减速模式，增强低着陆能量下的表面信息。
• SU3900SE 配备大腔室和五轴电动样品台，可容纳直径最高 300 mm 的样品。
• 支持二次电子、背散射电子等多信号观察；TOP 探测器及高灵敏度低真空探测器按配置提供。
• 6–150 Pa 可变压力模式便于观察非导电、易荷电或不便镀膜的样品。

典型应用

适用于半导体封装与晶圆部件、金属断口、陶瓷与复合材料、粉体、电池材料、大尺寸机械零件以及工业失效分析。

选型提示

应重点确认所需样品尺寸和重量、是否选择 SE Plus 减速功能、低真空探测器、BSE/EDS/EBSD 等分析附件，以及大样品装载和自动导航需求。