Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope SU5000 : Hitachi High-Tech Corporation

产品概述

Hitachi SU5000 是兼顾高分辨形貌观察与高束流分析的肖特基场发射扫描电子显微镜。其设计强调自动化调校、低电压成像和多种分析附件兼容性，适合需要稳定重复操作的公共平台、材料研究和工业分析实验室。

核心特点

• ZrO/W 肖特基场源可提供稳定电子束，在成像与 EDS、EBSD 等分析任务之间灵活切换。
• 二次电子分辨率为 1.2 nm @ 30 kV、3.0 nm @ 1 kV；配置减速功能后可进一步改善低电压表面成像。
• 最大探针电流达到 200 nA 以上，有利于提升能谱及其他分析信号的采集效率。
• 五轴电动样品台支持直径最高 200 mm、高度最高 80 mm 的样品。
• 可选 10–300 Pa 低真空模式，用于非导电材料和易荷电样品。

典型应用

适用于纳米材料、催化剂、电子器件、金属与合金、陶瓷、聚合物、地质样品的形貌、成分和晶体取向分析。

选型提示

选型时应确认低电压分辨率需求、是否需要减速模式、低真空功能，以及 EDS、WDS、EBSD、BSE 等探测器组合和样品尺寸。