超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000 : 日立高新技术在中国

产品概述

Hitachi SU7000 是兼顾超高分辨成像与多信号分析的肖特基场发射扫描电子显微镜。系统采用混合物镜与多探测器架构，可在保持样品兼容性的同时快速获取表面形貌、成分及不同深度来源的信息。

核心特点

• 在 15 kV 下分辨率可达 0.8 nm，在 1 kV 下可达 0.9 nm，适合精细表面和低电压观察。
• 最大探针电流约 200 nA，可兼顾高分辨成像和快速微区分析。
• UD、MD、LD 多探测器配合，可同时显示和保存最多六路图像信号。
• 五轴电动样品台可容纳直径最高 200 mm、高度最高 80 mm 的样品。
• 可选 5–300 Pa 可变压力模式及 EDS、WDS、EBSD、CL、STEM 等扩展附件。

典型应用

适用于纳米颗粒、薄膜、半导体器件、先进陶瓷、电池材料、复合材料和失效分析中的多信号高分辨表征。

选型提示

采购前应根据样品是否导电、分析工作距离、所需信号通道、样品尺寸及 EDS/EBSD/STEM 等扩展要求确定探测器和真空配置。