超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列 : 日立高新技术在中国

产品概述

Hitachi SU8600 是采用冷场发射电子源的超高分辨扫描电子显微镜，重点面向低加速电压下的精细形貌观察、自动化多区域采集和高稳定性研究任务。冷场发射源的高亮度与窄能量展宽有利于呈现纳米尺度表面细节。

核心特点

• 高亮度冷场发射电子源在低加速电压条件下保持良好的空间分辨能力。
• 15 kV 下分辨率可达 0.6 nm；配合减速模式，1 kV 下可达 0.7 nm。
• 半内透镜物镜与 ExB 柱内检测系统提高短工作距离下的信号收集效率。
• 支持自动调焦、自动像散校正、自动亮度与对比度调整及多区域批量采集。
• 可选柱内中置探测器等信号通道，用于区分形貌与成分信息。

典型应用

适用于半导体纳米结构、先进材料、薄膜与涂层、催化剂、微纳器件以及需要大批量重复成像的数据驱动研究。

选型提示

SU8600 侧重冷场发射高分辨成像且不提供可变压力模式；选型时应确认样品导电处理、工作距离、分析附件和自动批量采集方案。