超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700 : 日立高新技术在中国

产品概述

Hitachi SU8700 是采用肖特基发射源的超高分辨扫描电子显微镜，兼顾低电压高分辨成像、高探针电流分析与可变压力观察。系统适合需要同时完成纳米形貌观察和快速成分分析的综合研究平台。

核心特点

• 0.6 nm @ 15 kV、0.8 nm @ 1 kV，并可在 0.3 kV 条件下实现 0.9 nm 分辨率。
• 肖特基发射源提供稳定高束流，最大探针电流约 200 nA。
• 无需样品台偏压即可设置低至 100 V 的加速电压，适合表面敏感和易损样品。
• UD、MD、LD 多探测器支持多路信号同步观察，BSE、STEM 等探测器可选。
• 五轴自动样品台支持最大直径约 150 mm 样品，并可选 5–300 Pa 低真空模式。

典型应用

适用于半导体、纳米材料、电池与能源材料、催化剂、聚合物、磁性材料和工业质量控制。

选型提示

应根据低电压表面成像、高束流 EDS/EBSD、非导电样品低真空观察及样品尺寸，确定探测器、分析附件和自动化软件配置。