J.A. Woollam M-2000 高速光谱椭偏仪

产品概述

采用旋转补偿器和 CCD 同步光谱检测，可在最短约 0.05 秒采集完整光谱；不同配置覆盖约 193–1690 nm，适合薄膜表征、原位监控和自动映射。

核心特点

• 旋转补偿器椭偏技术 RCE
• CCD 同时采集数百个波长
• 完整光谱最快约 0.05 秒
• 支持原位监控、过程控制和自动映射

典型应用

适用于半导体、介质、有机物、薄金属、光学涂层以及 ALD、CVD、刻蚀等过程的原位监测。

选型提示

根据光谱范围选择 D、X、U、V 或 NIR 配置，并确认固定/自动角度、原位安装和 XY 映射平台。

配置与合规说明

页面依据供应商公开资料整理。实际性能受型号配置、光学组件、样品、环境和软件选件影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。