KEYENCE VK-X1000 三维激光扫描显微镜

产品概述

KEYENCE VK-X1000 系列将激光共聚焦、彩色成像与三维表面测量组合在同一系统中，可在不接触样品的条件下获取微细形貌并分析高度、轮廓、粗糙度和膜厚。自动扫描与分析模板适合研发和质量控制。

KEYENCE VK-X1000 三维激光扫描显微镜 对应型号为 VK-X1000 Series。本页以制造商官方产品页、规格表或产品手册为依据，重点整理可用于技术比较的工作原理、结构特点与关键指标。

核心特点

• 测量原理：激光共聚焦扫描。
• 激光波长：408 nm。
• 显示分辨率：高度 0.5 nm；宽度 1 nm。
• 光学变倍：1×–8×。
• 物镜转盘：6 位电动物镜转盘。
• 观察方式：激光、彩色、激光+彩色。
• 检测器：高灵敏度光电检测器。
• 彩色相机：高分辨率 CMOS。
• Z 扫描：高速电动扫描。
• XY 平台：电动平台，支持拼接。

系统围绕光学成像、运动控制、三维数据采集和分析软件形成完整工作流程，可将观察、测量、结果复核与报告输出统一管理。

典型应用

半导体、电子封装、精密加工、薄膜、涂层、磨损、金属、陶瓷、聚合物及微结构表面测量。

建立方法时应结合样品尺寸、表面反射或透明特性、目标结构尺度、所需测量范围和批量检测节拍设置采集条件。

选型提示

选型应核对测量原理、倍率与视场、高度和横向分辨率、工作距离、样品行程、对比方式、自动化能力及软件模块。历史型号还需确认现行替代产品、附件兼容性与服务支持。