基恩士 KEYENCE VK-X1000 三维激光扫描显微镜

产品概述

三维激光扫描共聚焦显微镜控制平台，将针孔共聚焦、焦点变化和彩色成像结合，用于获取微细表面的形貌、粗糙度、轮廓和尺寸数据。

根据测量头配置可使用 404 nm 或 661 nm 半导体激光；自动上下限和光强优化功能帮助处理反射率变化较大的样品。该型号现已停产，采购时需同时评估后续系列。

核心技术与优势

• 针孔共聚焦与焦点变化测量
• 最高约28800×显示放大
• 高度显示分辨率最低0.5 nm
• 激光扫描最高125 Hz，线扫描最高约7900 Hz

典型应用

适用于半导体、电子、金属、涂层、薄膜、MEMS、精密加工和材料研究的表面粗糙度、台阶、轮廓及三维形貌测量。

选型与配置建议

确认测量头版本、激光波长、物镜、横纵向范围、平台、反射率、粗糙度参数、拼接和升级替代方案。

使用与数据工作流

• 彩色图像定位需要测量的微细区域
• 自动设置扫描范围并优化反射光强
• 获取共聚焦强度与三维高度数据
• 完成轮廓、粗糙度、面积和体积分析

显微成像和形貌计量共用坐标与数据，可快速从缺陷外观转向定量高度及粗糙度判断。