基恩士 KEYENCE VK-X3000 多技术三维形貌测量激光显微镜

产品概述

多技术三维表面计量平台，将激光共聚焦、焦点变化、白光干涉和光谱干涉集成在同一系统，可覆盖微细形貌、超光滑粗糙度和透明薄膜厚度。

VK-X3100采用404 nm激光，VK-X3050采用661 nm激光；电动六孔物镜转盘和多测量模式让用户可按表面特性选择最合适的方法。

核心技术与优势

• 四种测量原理覆盖不同表面
• 总放大约42×–28800×
• 白光干涉表面形貌重复性约0.08 nm
• 光谱干涉膜厚重复性约0.1 nm

典型应用

适用于半导体、晶圆、薄膜、光学、金属、陶瓷、精密加工和材料研发中的纳米粗糙度、三维形貌、轮廓及膜厚测量。

选型与配置建议

确认X3100/X3050、目标粗糙度与膜厚、物镜、白光/激光模式、平台行程、样品反射率、测量面积和分析标准。

使用与数据工作流

• 彩色概览定位并选择对应物镜
• 依据表面自动或手动选择测量模式
• 采集高度、强度或膜厚数据并拼接
• 输出粗糙度、轮廓、膜厚和三维报告

一台设备覆盖从形貌到纳米粗糙度及薄膜的多类任务，可降低不同量测方法之间的样品转移和数据对齐成本。