KLA Candela 8520 SiC晶圆与外延层检测系统

产品概述

KLA Candela 8520 是第二代集成表面与光致发光检测系统，针对功率器件材料的基板和外延缺陷进行自动表征。多检测通道在一次扫描中同步获取散射、明场、形貌、相位和发光响应，支持宏观与微观缺陷分类及统计过程控制。

KLA Candela 8520 SiC晶圆与外延层检测系统 对应型号为 Candela 8520，本页依据制造商公开产品资料核对系统定位、核心技术和适用范围，便于技术比较与方案初选。

核心特点

• 系统代际：第二代集成表面与 PL 检测。
• 目标市场：功率器件材料。
• 检测对象：SiC 基板与外延层。
• 光学通道：明场、散射与形貌。
• 测量信号：反射率、相位、光致发光。
• 入射方式：法向与斜入射。
• 覆盖方式：分钟级全表面检测。
• 缺陷能力：宏观与微观缺陷。
• 数据输出：图像、晶圆图、缺陷日志。

典型应用

SiC 基板和外延层、GaN 及其他功率器件材料，MOCVD 工艺监控、来料筛查、缺陷根因分析和良率提升。

实际测量方案应结合样品材料、表面状态、目标缺陷或结构尺度、生产节拍、数据接口和环境条件建立。

选型提示

建议重点确认检测或测量原理、样品尺寸、灵敏度或分辨率、扫描范围、自动化接口、数据分析软件、所需探测通道及附件。历史型号还应确认服务、软件和备件支持情况。