KLA Candela 8520 SiC晶圆与外延层检测系统

产品概述

面向碳化硅功率器件制造的自动晶圆检测系统，结合表面缺陷检测和光致发光技术，对 SiC 衬底及外延层的多类缺陷进行发现、分类和质量控制。

核心特点

• 表面缺陷检测与光致发光集成
• 针对 SiC 衬底及外延层
• 识别影响功率器件性能的多类缺陷
• 支持自动分类和晶圆级质量控制

典型应用

适用于 SiC 衬底来料、外延生长和功率器件制造过程中的颗粒、划伤、晶体与外延相关缺陷检测。

选型提示

确认 SiC 晶圆尺寸、衬底/外延类型、目标表面和晶体缺陷、光致发光通道、灵敏度与自动化节拍。

配置与合规说明

页面依据供应商公开资料整理。实际性能受具体配置、样品、环境、软件和应用方法影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。