KLA Candela 8720 化合物半导体晶圆检测系统

产品概述

KLA Candela 8720 是用于 LED、光子、通信及其他化合物半导体基板和外延晶圆的自动表面检测系统。它在一次扫描中同时采集散射、形貌、反射率、相位和光致发光信息，实现全表面缺陷检测、分类及晶圆图输出。

KLA Candela 8720 化合物半导体晶圆检测系统 对应型号为 Candela 8720，本页依据制造商公开产品资料核对系统定位、核心技术和适用范围，便于技术比较与方案初选。

核心特点

• 检测模式：高通量、标准分辨率、高分辨率。
• 检测通道：多通道同步光学检测。
• 散射检测：法向与斜入射散射。
• 形貌通道：表面形貌变化。
• 反射测量：表面反射率。
• 相位测量：相位变化。
• 发光检测：光致发光 PL。
• 覆盖方式：分钟级全表面覆盖。
• 数据输出：高分辨图像与晶圆图。

典型应用

蓝宝石、PSS、GaN、SiC 等基板与外延层，LED、光子器件、通信器件、MOCVD 过程控制和来料质量监控。

实际测量方案应结合样品材料、表面状态、目标缺陷或结构尺度、生产节拍、数据接口和环境条件建立。

选型提示

建议重点确认检测或测量原理、样品尺寸、灵敏度或分辨率、扫描范围、自动化接口、数据分析软件、所需探测通道及附件。历史型号还应确认服务、软件和备件支持情况。