选型判断
先确认这台仪器是否真正匹配你的实验目标
- 明确样品类型、尺寸、材料和目标工艺
- 确认目标缺陷、结构尺寸或表面参数
- 核对检测、复检或三维测量原理
- 确认光学、电子束、传感器及物镜配置
- 评估自动化、样品台和目标吞吐量
- 确认软件、数据格式、报告及主机通讯
- 核对校准、验收、溯源和合规要求
- 使用代表性样品验证性能和流程适用性
产品简介
面向先进晶圆制造的自动电子束缺陷复检与分类平台，用于对光学检测发现的缺陷进行高分辨成像、复查、分析和数据反馈，支持研发爬坡及量产良率管理。
产品概述
面向先进晶圆制造的自动电子束缺陷复检与分类平台，用于对光学检测发现的缺陷进行高分辨成像、复查、分析和数据反馈，支持研发爬坡及量产良率管理。
核心特点
- 高分辨电子束缺陷复检
- 自动缺陷定位、成像与分类
- 连接光学检测结果形成复检工作流
- 面向先进逻辑、存储和工艺研发
典型应用
适用于晶圆制造中的随机缺陷与系统性缺陷复查、制程问题定位、缺陷分类、工艺窗口优化和良率提升。
选型提示
确认晶圆尺寸、目标缺陷类型、上游检测坐标格式、电子束成像要求、自动分类、吞吐量和数据系统接口。
配置与合规说明
页面依据供应商公开资料整理。实际性能受具体配置、样品、环境、软件和应用方法影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。
| 参数项 | 数值 |
|---|---|
| 品牌 | KLA |
| 型号 | eDR7380 |
| 系统类型 | 电子束晶圆缺陷复检系统 |
| 主要功能 | 高分辨缺陷成像与分类 |
| 样品 | 图形化半导体晶圆 |
| 工作流 | 光学检测后自动复检 |
| 数据能力 | 缺陷图像、分类与追踪 |
| 应用阶段 | 研发爬坡与量产 |
品牌KLA型号eDR7380
配置清单
询价前需要确认的配置项
- 设备主机及核心成像或检测模块
- 光源、电子束、探测器或传感器
- 物镜、镜头及光学测量组件
- 样品台、卡盘、夹具或自动装载模块
- 控制电脑、工作站和数据存储
- 采集、分析、分类及报告软件
- 隔振、温控、洁净环境和安全设施
- 安装调试、方法开发、验收和培训
代理服务
选型与交付支持
可协助需求梳理、样品测试、方法评估、配置核对、安装培训及售后对接；授权、价格、交期和供货范围以正式商务确认为准。
应用场景
哪些需求适合优先评估这个型号
先进逻辑缺陷复检
存储器工艺控制
制程问题定位
良率学习与分析
资料依据
页面内容以品牌方公开资料、产品参数和售前配置复核为基础。正式价格、授权关系、供货周期和最终配置以商务确认为准。
资料核验：2026-09-02