Lasertec OPTELICS HYBRID+ C3 白光共聚焦显微镜

产品概述

OPTELICS HYBRID+ C3 是 LaserTec 基础型白光共聚焦显微镜，可进行表面形貌、粗糙度、宽度、间距和高度等非接触三维测量，支持宽视野至高倍率观察。

核心特点

• 白光共聚焦观察与三维形貌测量
• 1×至 150× 物镜覆盖宽视野和微细结构
• 高度量程最高约 7 mm
• 宽度和高度测量重复性典型值约 10 nm

典型应用

适用于半导体、电子器件、精密加工、材料表面、微结构和失效分析中的三维形貌、粗糙度、台阶及尺寸测量。

选型提示

C3 主要提供白光共聚焦功能；若需要激光共聚焦、干涉、微分干涉或膜厚功能，应比较 L3/L7 及相应选件。

配置与合规说明

页面依据供应商公开资料整理。具体测量能力受样品、光学配置、测量模式、环境和软件选件影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。