Lasertec SICA 88 Wafer Inspection 高端半导体检测系统

产品简介

Lasertec SICA 88 Wafer Inspection 属于半导体/薄膜/表面检测高端产品池，适合晶圆厂、封测厂、电子材料、功率半导体、薄膜工艺研发。典型应用包括晶圆缺陷、膜厚/形貌/电性、洁净污染、封装失效分析。该型号用于显微与成像平台转型上架，建议销售前复核授权、供货周期、配置清单和正式技术参数。

适配场景：半导体表面与失效分析平台。可按工艺目标、样本类型与通量要求提供选型建议。