产品简介
在高真空环境中开展高分辨率原子力显微与表面性质测量的专业平台，适合对环境敏感样品研究。
在高真空环境中开展高分辨率原子力显微与表面性质测量的专业平台，适合对环境敏感样品研究。
| 参数项 | 数值 |
|---|---|
| 品牌 | Park Systems |
| 型号 | NX-Hivac |
| 系统类型 | 高真空原子力显微镜 |
| 真空水平 | 可达 10⁻⁵ Torr，抽气时间 <5 min |
| XY 扫描范围 | 50 μm；可选 100 μm |
| Z 扫描范围 | 15 μm；可选 38 μm |
| XY 样品台行程 | 22 × 22 mm，电动 |
| Z 样品台行程 | 25 mm，电动 |
| 样品容量 | 50 × 50 × 20 mm；最大 500 g |
| 光学系统 | 5 MP CCD；10×物镜，20×可选 |
| Z 直线度 | 可用范围内 0.1%，15 μm 行程横向偏移 <5 nm |
| 扫描模式 | True Non-contact；支持真空 SSRM/SCM 等模式 |
型号NX-Hivac
资料依据
页面内容以品牌方公开资料、产品参数和售前配置复核为基础。正式价格、授权关系、供货周期和最终配置以商务确认为准。
资料核验：2026-09-08