
产品简介
面向平板显示和大尺寸样品检测的自动化原子力显微系统,可用于生产与研发环节的表面计量。
面向平板显示和大尺寸样品检测的自动化原子力显微系统,可用于生产与研发环节的表面计量。
| 参数项 | 数值 |
|---|---|
| 品牌 | Park Systems |
| 型号 | NX-TSH FPD |
| 系统类型 | 超大尺寸平板显示基板自动化 AFM |
| 基板尺寸 | 最高支持 Gen 8.6,约 2290 × 2620 mm |
| XY 扫描范围 | 最高 100 × 100 μm |
| Z 扫描范围 | 15 μm |
| 样品台平面度 | 整体 <20 μm |
| 探针容量 | 自动探针更换器最多 24 支预装探针 |
| 扫描架构 | 固定基板、气浮直线电机移动测量模块 |
| 扫描模式 | True Non-contact 非接触模式 |
| 洁净等级 | ISO 14644-1 Class 1 |
| 自动化流程 | 支持配方、目标扫描、分析及报告全流程自动化 |
平台AFM/纳米表征型号NX-TSH
资料依据
页面内容以品牌方公开资料、产品参数和售前配置复核为基础。正式价格、授权关系、供货周期和最终配置以商务确认为准。
资料核验:2026-09-08