Park Systems NX-Wafer 全自动晶圆原子力显微镜

产品概述

面向半导体晶圆厂在线计量的全自动 AFM，可实现晶圆搬运、配方执行、探针交换、多目标扫描、自动分析和报告，并支持自动缺陷复查及 CMP 轮廓测量。

核心特点

• 从晶圆搬运到分析报告的端到端自动化
• 支持 200 mm 和 300 mm 晶圆平台
• 自动探针交换最多存放 24 支探针
• 支持 ADR 自动缺陷复查和 CMP 长程轮廓

典型应用

适用于晶圆制造中的缺陷复查、CMP dishing/erosion、粗糙度、关键尺寸、台阶及三维纳米形貌计量。

选型提示

确认 200/300 mm 晶圆、EFEM/FOUP、主机通讯、缺陷坐标格式、扫描模式、CMP 长程测量和产线节拍。

配置与合规说明

页面依据供应商公开资料整理。实际性能受型号配置、光学组件、样品、环境和软件选件影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。