Semilab SE-2000 模块化宽光谱椭偏仪

产品概述

Semilab SE-2000 是高度模块化的研发级光谱椭偏平台，可在同一系统中从深紫外扩展至中红外，并根据任务选择快速阵列探测或高分辨率单点探测配置。系统支持薄膜、多层结构、各向异性、散射、透射、反射和孔隙率等分析。

Semilab SE-2000 模块化宽光谱椭偏仪 对应型号为 SE-2000，本页参数按制造商当前公开产品页或规格资料逐项核对，便于方案比较和采购选型。

核心特点

• 产品类型：模块化光谱椭偏仪。
• 总光谱覆盖：190 nm–25 µm。
• 系统配置：超过 70 种配置。
• 典型测量速度：1–10 s/点。
• 最快测量：约 167 ms/点。
• 测量方式：非接触、非破坏。
• 自动化：手动或自动上样与晶圆映射。
• 测量模式：SE、广义椭偏、透射椭偏。
• 扩展模式：散射、Mueller/Jones 矩阵。

典型应用

半导体、光伏、显示、光学涂层、聚合物、多层薄膜、各向异性材料、原位工艺和环境控制实验。

建立测量方案时，应结合样品材料、结构尺度、所需数据类型、测量节拍、自动化接口和环境控制条件确定配置。

选型提示

建议重点确认光谱或扫描范围、样品尺寸、空间分辨率、重复性、测量速度、分析软件、自动平台和所需附件。扩展波段、探测器、样品台与应用模块可能属于选件，应按具体料号核对。