Semilab µSE-3000 微光斑全自动光谱椭偏仪

产品概述

Semilab µSE-3000 是面向图形化晶圆和量产过程监控的全自动微光斑光谱椭偏系统，采用旋转补偿器光学结构并集成精密 XY 映射、快速自动聚焦、图形识别和晶圆自动搬送。它可对 300 mm 产品晶圆进行多点薄膜厚度和光学常数测量。

Semilab µSE-3000 微光斑全自动光谱椭偏仪 对应型号为 µSE-3000，本页参数按制造商当前公开产品页或规格资料逐项核对，便于方案比较和采购选型。

核心特点

• 产品类型：微光斑全自动光谱椭偏仪。
• 波长范围：193–900 nm（UV-VIS）。
• 最大映射直径：300 mm。
• 映射点数：用户定义，最多 3000 点。
• 晶圆尺寸：300 mm；可兼容 200 mm。
• 装载端口：双 FOUP。
• 自动化接口：OHT、SECS/GEM。
• 适用基底：玻璃、Si、GaAs、SiC 等。
• 测量输出：膜厚与光学常数 n/k。

典型应用

半导体前道工艺、化合物半导体、SiC、GaAs、Micro LED/OLED、晶圆内均匀性、批次监控和先进过程控制。

建立测量方案时，应结合样品材料、结构尺度、所需数据类型、测量节拍、自动化接口和环境控制条件确定配置。

选型提示

建议重点确认光谱或扫描范围、样品尺寸、空间分辨率、重复性、测量速度、分析软件、自动平台和所需附件。扩展波段、探测器、样品台与应用模块可能属于选件，应按具体料号核对。