Semilab µSE-3000 微光斑光谱椭偏仪

产品概述

面向图形化、化合物半导体及 OLED 等样品的微光斑光谱椭偏系统，可配置全自动测量和 300 mm 样品映射，用于局部膜厚及光学性质表征。

核心特点

• 微光斑光谱椭偏测量
• 适合图形化和复合材料局部区域
• 支持最高 300 mm 样品自动表征
• 可进行自动定位、映射和配方测量

典型应用

适用于图形化晶圆、化合物半导体、OLED、微电子器件和局部薄膜结构的膜厚与光学常数分析。

选型提示

重点确认最小测量光斑、目标图形尺寸、光谱范围、300 mm 平台、自动定位方式和膜层模型。

配置与合规说明

页面依据供应商公开资料整理。实际性能受型号配置、光学组件、样品、环境和软件选件影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。