Thermo Scientific Helios 5 CX DualBeam 高分辨双束电镜

产品概述

第五代 Helios 镓离子 DualBeam 平台，组合 Elstar 超高分辨场发射电子柱与 Tomahawk HT 离子柱，侧重高通量定点制样和纳米尺度截面分析。

核心特点

• 电子柱：Elstar 超高分辨场发射 SEM 柱。
• SEM落地能量：20 eV–30 keV。
• SEM分辨率：0.6 nm @ 15 keV；1.0 nm @ 1 keV。
• 离子柱：Tomahawk HT Ga+ FIB。
• 离子束电压：500 V–30 kV。
• 离子束流：1 pA–100 nA。

典型应用

适用于半导体和先进材料的 TEM/APT 定点样品制备、截面成像、三维表征、微纳加工、失效分析与多模态元素分析。

选型提示

选型时应结合目标分辨率、加速电压、样品尺寸与导电性、真空或低温条件、电子/离子束流范围、探测器组合、元素分析能力和自动化通量。涉及可选探测器、EDS、EBSD、EELS、冷冻附件或原位样品台时，应按具体配置逐项确认。