Thermo Scientific Helios 5 Hydra UX 多离子等离子体双束电镜

产品概述

采用可快速切换多种离子的等离子体 FIB-SEM，将 Elstar 高分辨电子成像与大束流材料去除结合，覆盖大体积三维分析和无镓样品制备。

核心特点

• 离子种类：Xe、Ar、O、N，可快速自动切换。
• 最大离子束流：2.5 µA。
• 低能终抛：最低 500 V。
• 电子柱：Elstar 场发射 SEM，带 UC+ 单色器。
• 成像能力：低能亚纳米级 SEM 成像。
• 样品台：150 mm 高稳定压电样品台。

典型应用

适用于大体积材料切削、3D 显微结构、半导体封装、TEM/APT 无镓制样、难加工材料截面及离子种类敏感的工艺开发。

选型提示

选型时应结合目标分辨率、加速电压、样品尺寸与导电性、真空或低温条件、电子/离子束流范围、探测器组合、元素分析能力和自动化通量。涉及可选探测器、EDS、EBSD、EELS、冷冻附件或原位样品台时，应按具体配置逐项确认。