Thermo Scientific Helios 5 UX DualBeam 超高分辨双束电镜

产品概述

面向超薄 TEM/APT 制样和极低电压高分辨观察的 Helios 高端 DualBeam，采用 Elstar 极高分辨电子柱与 Phoenix 低电压高性能镓离子柱。

核心特点

• 电子柱：Elstar 极高分辨场发射 SEM 柱。
• SEM落地能量：20 eV–30 keV。
• SEM分辨率：0.6 nm @ 2 keV；0.7 nm @ 1 keV；1.0 nm @ 500 eV。
• 离子柱：Phoenix Ga+ FIB。
• 离子束电压：500 V–30 kV。
• 离子束流：1 pA–65 nA。

典型应用

适用于先进逻辑与存储器件、量子材料、纳米结构和敏感界面的超薄薄片制备、亚纳米成像、三维表征及精准微纳加工。

选型提示

选型时应结合目标分辨率、加速电压、样品尺寸与导电性、真空或低温条件、电子/离子束流范围、探测器组合、元素分析能力和自动化通量。涉及可选探测器、EDS、EBSD、EELS、冷冻附件或原位样品台时，应按具体配置逐项确认。