Thermo Scientific Scios 2 DualBeam 聚焦离子束扫描电镜

产品概述

将高分辨场发射扫描电镜与 Sidewinder 镓离子束集成的 DualBeam 平台，用于定点截面、透射电镜薄片制备和三维序列切削成像。

核心特点

• 电子源：高稳定肖特基场发射源。
• 电子束加速电压：200 V–30 kV。
• 电子束流：1 pA–400 nA。
• 离子束加速电压：500 V–30 kV。
• 离子束流：1.5 pA–65 nA。
• 离子束分辨率：3.0 nm @ 30 kV。

典型应用

适用于电池、半导体、金属、陶瓷和复合材料的截面制备、失效定位、孔隙与界面分析、TEM 薄片以及三维显微结构重构。

选型提示

选型时应结合目标分辨率、加速电压、样品尺寸与导电性、真空或低温条件、电子/离子束流范围、探测器组合、元素分析能力和自动化通量。涉及可选探测器、EDS、EBSD、EELS、冷冻附件或原位样品台时，应按具体配置逐项确认。