ZEISS Crossbeam 550 聚焦离子束扫描电子显微镜

产品概述

ZEISS Crossbeam 550 将 Gemini 2 场发射扫描电镜与 Ion-sculptor 聚焦离子束柱结合，用于高质量截面制备、三维表征和微纳加工。系统支持低能量精加工与自动薄片制备流程，并可扩展飞秒激光实现更大体积的快速材料去除。

ZEISS Crossbeam 550 聚焦离子束扫描电子显微镜 对应型号为 Crossbeam 550。内容依据制造商公开产品资料整理，突出系统原理、能力边界和适用场景，便于技术人员进行初步方案比较。

核心特点

• SEM 光学系统：Gemini 2。
• FIB 技术：Ion-sculptor 离子束柱。
• 薄片制备：支持自动化 recipe 工作流。
• 终抛能力：支持低能离子束精加工。
• 三维分析：连续切片与体数据重构。
• 可选激光：飞秒激光模块。
• 控制软件：ZEN core EM。
• 微区分析：EDS/EBSD 可扩展。
• 样品操作：高精度多轴样品台。

典型应用

半导体失效分析、TEM 薄片制备、材料截面、三维组织重构、微纳加工、电池和地质材料研究。

建立应用流程时，应结合样品尺寸、材料组成、目标结构尺度、检测节拍、数据分析和自动化接口确定测量方案。

选型提示

选型时建议逐项确认分辨率或量测范围、样品兼容性、成像或仿真模式、探测与分析模块、软件版本、自动化程度及现场条件。属于选件的模块应按实际任务单独确认。