ZEISS Sigma 560 场发射扫描电子显微镜

产品概述

ZEISS Sigma 560 场发射扫描电子显微镜是一款面向科研与工业表征的场发射扫描电子显微镜。系统围绕高质量成像、稳定分析和可重复工作流程设计，可根据样品类型与研究目标组合相应探测器和分析附件。

核心特点

• 电子光学：Gemini 1 电子光学镜筒。
• 分辨率：1.2 nm @ 1 kV；DCV 模式 1.0 nm @ 1 kV。
• 最大视野：4.6 mm @ 5 kV。
• 样品台：共心样品台，X/Y 130 mm。
• 探测方式：柱内与腔室探测器组合，具体配置可选。

典型应用

适用于纳米材料、半导体器件、薄膜涂层、能源材料、金属与陶瓷的微观形貌、成分及失效分析。

选型提示

建议根据目标分辨率、样品尺寸与导电性、低电压或低真空需求、每日样品量，以及 EDS、EBSD、STEM 或自动化功能确定具体配置。涉及不同镜筒、物镜或历史型号时，应按具体版本核对。