
产品简介
蔡司场发射扫描电子显微镜Sigma系列,具有高质量的成像和分析能力,将先进的场发射扫描电子显微镜技术与优秀的用户体验完美结合。其直观的4步工作流程,在更短的时间内获得更多的数据,提高测试与生产效率。结合蔡司原位电镜实验平台,可以实现自动智能化的原位实验工作流程,高效率获取高通量、高质量的原位实验数据。领先的EDS几何设计保证了出色的元素分析性能,分析速度高、精度好、结果可靠。高分辨、全分析、多扩展、强智能、广应用,全新Sigma系列是助力于材料研究、生命科学和工业检测等领域的“多面手”。系列含两款机型:Sigma 360和Sigma 560。可选配多种探测器,以满足半导体、能源等新材料、磁性样品、生物样品、地质样品等不同的应用需求,满足高校、科研院所、工业制造企业等机构多样化需求。
产品概述
ZEISS Sigma 560 场发射扫描电子显微镜是一款面向科研与工业表征的场发射扫描电子显微镜。系统围绕高质量成像、稳定分析和可重复工作流程设计,可根据样品类型与研究目标组合相应探测器和分析附件。
核心特点
- 电子光学:Gemini 1 电子光学镜筒。
- 分辨率:1.2 nm @ 1 kV;DCV 模式 1.0 nm @ 1 kV。
- 最大视野:4.6 mm @ 5 kV。
- 样品台:共心样品台,X/Y 130 mm。
- 探测方式:柱内与腔室探测器组合,具体配置可选。
典型应用
适用于纳米材料、半导体器件、薄膜涂层、能源材料、金属与陶瓷的微观形貌、成分及失效分析。
选型提示
建议根据目标分辨率、样品尺寸与导电性、低电压或低真空需求、每日样品量,以及 EDS、EBSD、STEM 或自动化功能确定具体配置。涉及不同镜筒、物镜或历史型号时,应按具体版本核对。
| 参数项 | 数值 |
|---|---|
| 品牌 | ZEISS |
| 型号 | Sigma 560 |
| 系统类型 | 场发射扫描电子显微镜 |
| 电子光学 | Gemini 1 电子光学镜筒 |
| 分辨率 | 1.2 nm @ 1 kV;DCV 模式 1.0 nm @ 1 kV |
| 最大视野 | 4.6 mm @ 5 kV |
| 样品台 | 共心样品台,X/Y 130 mm |
| 探测方式 | 柱内与腔室探测器组合,具体配置可选 |
| 减速成像 | 支持样品偏压减速 DCV |
| 分析扩展 | EDS、EBSD、WDS、CL 等依配置 |
品牌ZEISS平台科研级相机/探测器型号Sigma 560
