蔡司Versa高级三维X射线显微镜（XRM）

产品概述

ZEISS Xradia 610 Versa 是基于实验室 X 射线源的三维 X 射线显微镜，可在无需破坏样品的情况下观察内部结构。系统采用几何放大与显微镜物镜相结合的两级放大架构，在不同样品尺寸和工作距离下保持稳定的三维分辨能力。

核心特点

• 空间分辨率可达 0.5 μm，最小可实现体素尺寸为 40 nm。
• Resolution at a Distance 技术在 50 mm 工作距离下仍可达到约 1.0 μm 分辨率。
• 多倍率物镜支持从较大视野快速定位到局部高分辨扫描。
• 支持宽视野模式和垂直拼接，便于覆盖尺寸较大的封装和材料样品。
• Scout-and-Scan 工作流程支持自动曝光、扫描方案设置、重建与可视化衔接。

典型应用

适用于半导体封装与互连、复合材料、增材制造、地质与电池材料、生物样品，以及内部缺陷、孔隙、裂纹和界面结构分析。

选型提示

选型时需要结合样品尺寸、密度、目标缺陷尺度、扫描通量和原位装置空间，确认物镜、探测器、自动装载及重建分析软件配置。