蔡司Versa高级三维X射线显微镜（XRM）

产品概述

ZEISS Xradia 620 Versa 是面向高通量、多尺度无损三维成像的实验室 X 射线显微镜。系统通过两级放大光学和 Resolution at a Distance 技术，在较大工作距离下仍保持亚微米级空间分辨率，适合复杂样品内部结构的定量分析。

核心特点

• 空间分辨率可达 0.5 μm，最小体素尺寸可达 40 nm。
• 在 50 mm 工作距离下仍可获得约 1.0 μm 分辨率，适合较大或带原位装置的样品。
• 闭管透射式 X 射线源支持快速启动，并针对高通量采集流程优化。
• 支持宽视野模式、垂直拼接和多倍率物镜切换，实现从整体到局部的多尺度扫描。
• 可选自动装载与连续采集方案，适合批量样品和长时间无人值守运行。

典型应用

适用于先进封装、芯片互连、失效分析、复合材料、增材制造、电池、地质材料和多孔结构的无损三维检测。

选型提示

应先明确样品尺寸与吸收特性、目标体素和分辨率、日常通量、是否需要原位实验或自动装载，再确定物镜及软件配置。