AMETEK Zygo ZeGage Pro 3D光学轮廓仪

产品概述

AMETEK Zygo ZeGage Pro 是生产就绪型台式非接触三维光学轮廓仪，采用相干扫描干涉技术对微米和纳米尺度表面进行定量测量。SureScan 降低环境振动影响，Smart Setup、Part Finder 和 Mx 软件简化工件定位、测量与报告。

AMETEK Zygo ZeGage Pro 3D光学轮廓仪 对应型号为 ZeGage Pro，本页依据制造商公开产品资料核对系统定位、核心技术和适用范围，便于技术比较与方案初选。

核心特点

• 测量原理：相干扫描干涉 CSI。
• 测量方式：非接触面形测量。
• 垂直精度：纳米级。
• 相机像素：约 190 万像素。
• 抗振技术：SureScan。
• 智能设置：Smart Setup。
• 工件定位：Part Finder。
• 分析软件：Mx。
• 自动化选件：电动样品台与测量序列。

典型应用

表面粗糙度、台阶高度、形貌、波纹度、微结构、精密加工、增材制造、光学零件及生产过程监控。

实际测量方案应结合样品材料、表面状态、目标缺陷或结构尺度、生产节拍、数据接口和环境条件建立。

选型提示

建议重点确认检测或测量原理、样品尺寸、灵敏度或分辨率、扫描范围、自动化接口、数据分析软件、所需探测通道及附件。历史型号还应确认服务、软件和备件支持情况。