选型判断
先确认这台仪器是否真正匹配你的实验目标
- 明确样品类型、尺寸、材料和目标工艺
- 确认目标缺陷、结构尺寸或表面参数
- 核对检测、复检或三维测量原理
- 确认光学、电子束、传感器及物镜配置
- 评估自动化、样品台和目标吞吐量
- 确认软件、数据格式、报告及主机通讯
- 核对校准、验收、溯源和合规要求
- 使用代表性样品验证性能和流程适用性
产品简介
采用相干扫描干涉（CSI）技术的台式非接触三维光学轮廓仪，用于微纳尺度表面形貌、粗糙度、台阶高度和形状测量，并通过 SureScan 降低现场振动影响。
产品概述
采用相干扫描干涉（CSI）技术的台式非接触三维光学轮廓仪，用于微纳尺度表面形貌、粗糙度、台阶高度和形状测量，并通过 SureScan 降低现场振动影响。
核心特点
- 非接触 CSI 三维表面测量
- 纳米级垂直精度与 190 万像素传感器
- SureScan 提升振动环境适应性
- Smart Setup、Part Finder 和自动拼接
典型应用
适用于精密加工、半导体、光学、汽车、医疗器械和研发实验室的表面纹理、台阶、形状及缺陷定量分析。
选型提示
确认样品尺寸、反射率、粗糙度、台阶范围、目标视野、物镜、手动/电动平台和薄膜分析需求。
配置与合规说明
页面依据供应商公开资料整理。实际性能受具体配置、样品、环境、软件和应用方法影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。
| 参数项 | 数值 |
|---|---|
| 品牌 | AMETEK Zygo |
| 型号 | ZeGage Pro |
| 测量原理 | 相干扫描干涉 CSI |
| 测量方式 | 非接触三维面形测量 |
| 图像传感器 | 约 190 万像素 |
| 垂直精度 | 纳米级（依配置） |
| 抗振技术 | SureScan |
| 软件 | Mx 分析与报告 |
品牌ZYGO平台半导体/薄膜/表面检测型号ZeGage Pro
配置清单
询价前需要确认的配置项
- 设备主机及核心成像或检测模块
- 光源、电子束、探测器或传感器
- 物镜、镜头及光学测量组件
- 样品台、卡盘、夹具或自动装载模块
- 控制电脑、工作站和数据存储
- 采集、分析、分类及报告软件
- 隔振、温控、洁净环境和安全设施
- 安装调试、方法开发、验收和培训
代理服务
选型与交付支持
可协助需求梳理、样品测试、方法评估、配置核对、安装培训及售后对接；授权、价格、交期和供货范围以正式商务确认为准。
应用场景
哪些需求适合优先评估这个型号
表面粗糙度与纹理
台阶高度和形状
精密加工质量控制
微纳结构三维测量
资料依据
页面内容以品牌方公开资料、产品参数和售前配置复核为基础。正式价格、授权关系、供货周期和最终配置以商务确认为准。
资料核验：2026-09-02