Evident LEXT OLS5100 三维测量激光显微镜

产品概述

LEXT OLS5100 将高分辨率共聚焦成像、纳米级高度信息和可追溯三维测量整合于一体。PEAK 算法与专用 LEXT 物镜有助于稳定捕获低反射、陡峭或复杂表面，并可完成粗糙度、台阶、轮廓和面积体积分析。

Evident LEXT OLS5100 三维测量激光显微镜 对应型号为 LEXT OLS5100。本页以制造商官方产品页、规格表或产品手册为依据，重点整理可用于技术比较的工作原理、结构特点与关键指标。

核心特点

• 测量原理：激光共聚焦扫描。
• 激光波长：405 nm。
• 高度显示分辨率：0.5 nm。
• 宽度显示分辨率：1 nm。
• 光学变倍：1×–8×。
• 物镜：5×、10×、20×、50×、100× 专用物镜。
• 观察模式：激光、彩色、激光 DIC、彩色 DIC。
• 检测器：高动态范围光电检测。
• 自动功能：自动对焦、曝光与亮度优化。
• 三维分析：高度、轮廓、粗糙度、面积与体积。

系统围绕光学成像、运动控制、三维数据采集和分析软件形成完整工作流程，可将观察、测量、结果复核与报告输出统一管理。

典型应用

晶圆与封装、PCB、连接器、精密零件、涂层、薄膜、磨损面、金属和聚合物表面的形貌与尺寸测量。

建立方法时应结合样品尺寸、表面反射或透明特性、目标结构尺度、所需测量范围和批量检测节拍设置采集条件。

选型提示

选型应核对测量原理、倍率与视场、高度和横向分辨率、工作距离、样品行程、对比方式、自动化能力及软件模块。历史型号还需确认现行替代产品、附件兼容性与服务支持。