Evident（原奥林巴斯）LEXT OLS5100 三维测量激光显微镜

产品概述

新一代反射式共聚焦激光扫描测量显微镜，可高速获取微细表面的三维形貌、轮廓和粗糙度，并利用长度测量模块的位置信息提高大面积拼接数据可靠性。

OLS5100 同时提供激光共聚焦、Laser-DIC、彩色和 Color-DIC 图像，覆盖约 54×–17280×总放大范围，适用于高重复性的研发和质量计量。

核心技术与优势

• 反射式激光共聚焦与 Laser-DIC
• 高度显示分辨率 0.5 nm、16 位动态范围
• 总放大约 54×–17280×、视野约 16–5120 μm
• 位置反馈辅助高精度大面积拼接

典型应用

适用于半导体、电子、金属、涂层、薄膜、精密加工、汽车、电池和材料研究中的粗糙度、台阶、轮廓、面积及体积测量。

选型与配置建议

确认目标横向和高度尺度、物镜、平台行程、样品高度、表面反射特性、拼接面积、ISO粗糙度参数及自动分析需求。

使用与数据工作流

• 用彩色概览定位并设置扫描区域
• 自动优化激光强度并采集三维数据
• 完成拼接、去倾斜、轮廓和粗糙度计算
• 生成三维图、测量结果和标准化报告

基于位置反馈的拼接与高密度三维数据有利于兼顾局部微细特征和较大区域的整体形貌评价。