Evident LEXT OLS5000 三维激光共聚焦显微镜

产品概述

LEXT OLS5000 是用于微米至纳米级表面形貌观察与非接触测量的三维激光共聚焦显微镜。405 nm 激光、双通道 16 位检测和高数值孔径专用物镜兼顾陡坡捕获、真实彩色成像与高度、粗糙度和轮廓分析。

Evident LEXT OLS5000 三维激光共聚焦显微镜 对应型号为 LEXT OLS5000。本页以制造商官方产品页、规格表或产品手册为依据，重点整理可用于技术比较的工作原理、结构特点与关键指标。

核心特点

• 总放大倍率：54×–17,280×。
• 视场范围：16–5120 µm。
• 激光波长：405 nm。
• 激光等级：Class 2，最大 0.95 mW。
• 激光帧率：3.25–55.6 fps。
• 彩色帧率：30 fps。
• 检测器：双 16 位 PMT。
• 彩色相机：235 万像素 CMOS。
• 高度显示分辨率：0.5 nm。
• 线性标尺分辨率：0.78 nm。

系统围绕光学成像、运动控制、三维数据采集和分析软件形成完整工作流程，可将观察、测量、结果复核与报告输出统一管理。

典型应用

半导体、电子元件、精密加工、涂层、摩擦磨损、金属断口、聚合物、微结构、透明薄膜及粗糙度测量。

建立方法时应结合样品尺寸、表面反射或透明特性、目标结构尺度、所需测量范围和批量检测节拍设置采集条件。

选型提示

选型应核对测量原理、倍率与视场、高度和横向分辨率、工作距离、样品行程、对比方式、自动化能力及软件模块。历史型号还需确认现行替代产品、附件兼容性与服务支持。