Evident（原奥林巴斯）LEXT OLS5000 三维激光共聚焦显微镜

产品概述

用于微细表面三维形貌与粗糙度测量的激光扫描共聚焦显微镜，结合 405 nm 激光、双 16 位 PMT 和彩色 CMOS 成像，可无接触获取高密度高度数据。

系统覆盖从低倍率定位到高倍率微结构分析，支持激光共聚焦、彩色明场和激光/彩色 DIC；适合同时需要形貌图像、轮廓、台阶高度和粗糙度数据的实验室。

核心技术与优势

• 405 nm 激光与双共聚焦光路
• 总放大约 54×–17280×
• 高度显示分辨率 0.5 nm、典型测量噪声 1 nm
• 单次最高 4096×4096 点、拼接最高约 3600 万点

典型应用

适用于金属磨损面、半导体、电子材料、涂层、薄膜、精密加工、MEMS 和材料研发的表面形貌、粗糙度、台阶及体积分析。

选型与配置建议

确认样品高度、表面反射率、粗糙度范围、物镜、XY平台、测量面积、拼接精度、标准参数和分析软件。

使用与数据工作流

• 彩色图像定位目标测量区域
• 激光扫描采集强度与高度数据
• 执行去倾斜、拼接、轮廓和粗糙度分析
• 输出三维图、参数表和可追溯报告

非接触测量可避免探针损伤柔软或微细表面，并将显微观察与定量形貌分析整合在同一数据集中。