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原子力显微与表面纳米计量选型要点
说明AFM在材料、半导体和生命科学样品中的模式选择、样品台、探针和环境控制关注点。
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产品简介
支持大样品、多点自动化和高分辨率测量的原子力显微平台,适合材料研发及半导体工艺表征。
支持大样品、多点自动化和高分辨率测量的原子力显微平台,适合材料研发及半导体工艺表征。
Oxford Instruments Jupiter XR 大样品自动化原子力显微镜主要用于大样品自动化原子力显微分析。页面内容围绕设备能力、典型样品和实验工作流展开,便于科研平台及研发团队进行初步选型。
系统设计重点包括测量稳定性、空间或时间分辨率、精确定位、自动化操作和数据可重复性。选型时应将主机、探针或光路、扫描器、样品台、环境控制、隔振及分析软件作为完整配置评估。
晶圆、器件、薄膜、先进材料、缺陷定位、粗糙度和关键尺寸研究。建议选择具有代表性的标准样品与真实样品进行测试,并记录采集速度、信噪比、漂移、重复性和后处理步骤。
采购前应明确样品尺寸与形态、目标结构尺度、测量模式、成像面积、环境条件、自动化程度和连续运行要求。涉及联用、批量任务或特殊环境时,还应逐项确认载具、接口、附件及软件许可。
建议建立样品准备、系统校准、参数模板、自动采集、质量检查、数据校正、定量分析和原始数据归档流程。验收时使用约定标准样品和典型任务,分别核对定位精度、背景噪声、漂移及结果一致性。
| 参数项 | 数值 |
|---|---|
| 品牌 | Oxford Instruments Asylum Research |
| 型号 | Jupiter XR |
| 系统类型 | 大样品自动化原子力显微镜 |
| 最大样品直径 | 200 mm(样品台可寻址范围覆盖整片样品) |
| XY 成像范围 | 最高 100 μm |
| Z 成像范围 | 最高 12 μm |
| 高度噪声底 | 约 25 pm |
| 扫描速度 | 扩展范围扫描器最高约为常规大样品 AFM 的 20 倍 |
| 电动样品台 | 全寻址高速电动样品台 |
| 自动光路 | SpotOn 激光与探测器点选自动对准 |
| 激励模式 | 支持 blueDrive 光热激励(选配) |
| 电学扩展 | 支持 PFM、SCM、导电 AFM 与 nanoTDDB 等(依配置) |
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说明AFM在材料、半导体和生命科学样品中的模式选择、样品台、探针和环境控制关注点。
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页面内容以品牌方公开资料、产品参数和售前配置复核为基础。正式价格、授权关系、供货周期和最终配置以商务确认为准。
资料核验:2026-09-08