Park Systems FX40 全自动研究级原子力显微镜

产品概述

Park Systems FX40 是面向无人值守、多样品和晶圆测量的全自动研究级原子力显微镜。系统采用电动大范围样品台、自动光路与探针工作流，可建立测量配方，在多个位置连续完成成像和分析，同时保留 Park True Non-Contact 等研究模式。

Park Systems FX40 全自动研究级原子力显微镜 对应型号为 FX40，本页参数按制造商当前公开产品页或规格资料逐项核对，便于方案比较和采购选型。

核心特点

• 产品类型：全自动研究级 AFM。
• 样品尺寸：20 × 20 mm；可扩展至 100 mm。
• 样品厚度：最高 20 mm。
• XY 扫描范围：50 µm 或 100 µm。
• Z 扫描范围：15 µm。
• XY 工作范围：105 × 40 mm。
• 样品台：电动 XY。
• 锁相放大器：8 通道数字锁相。
• 自动化：支持测量/分析配方。

典型应用

材料科学、半导体、纳米器件、聚合物、二维材料、自动晶圆取点、多样品筛查和重复性质量研究。

建立测量方案时，应结合样品材料、结构尺度、所需数据类型、测量节拍、自动化接口和环境控制条件确定配置。

选型提示

建议重点确认光谱或扫描范围、样品尺寸、空间分辨率、重复性、测量速度、分析软件、自动平台和所需附件。扩展波段、探测器、样品台与应用模块可能属于选件，应按具体料号核对。