Sensofar S neox 多技术3D光学轮廓仪

产品概述

高性能多技术三维光学轮廓仪，在同一传感头中组合共焦、干涉、焦点变化及薄膜测量能力，可覆盖光滑、粗糙、高斜率和透明薄膜等多类表面。

核心特点

• 多技术三维光学测量平台
• 共焦、CSI/PSI、焦点变化和薄膜测量
• 薄膜厚度范围约 50 nm 至 5 mm
• 支持高斜率、低反射率和复杂表面

典型应用

适用于半导体、微电子、精密加工、光学、工具、增材制造和科研中的表面形貌、粗糙度、薄膜厚度及尺寸计量。

选型提示

确认表面类型、粗糙度、坡度、膜厚、横纵向分辨率、物镜、压电 Z 扫描、样品台和分析软件配置。

配置与合规说明

页面依据供应商公开资料整理。实际性能受具体配置、样品、环境、软件和应用方法影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。