Sensofar S neox 多技术3D光学轮廓仪

产品概述

Sensofar S neox 是面向研发与质量控制的多技术三维光学轮廓仪，将共聚焦、PSI/CSI 干涉和多焦面叠加集成在同一平台，可从亚纳米粗糙度延伸到较大形貌和坡度。电动样品台、压电精细扫描和软件自动化支持重复批量测量。

Sensofar S neox 多技术3D光学轮廓仪 对应型号为 S neox，本页依据制造商公开产品资料核对系统定位、核心技术和适用范围，便于技术比较与方案初选。

核心特点

• 技术组合：共聚焦、PSI/ePSI/CSI、焦点变化。
• 照明波长：红、绿、蓝、白 LED。
• 共聚焦帧率：最高 180 fps（公开资料配置）。
• XY 行程：154 × 154 mm。
• 精细 Z 扫描：200 µm 压电扫描。
• 粗略 Z 行程：40 mm 线性平台。
• PSI 测量噪声：最低约 0.1 nm。
• 物镜倍率：2.5×至 150×可选。
• 样品重量：最高约 3 kg。

典型应用

半导体与先进封装、精密光学、微电子、涂层、增材制造、能源材料、工具表面、粗糙度和台阶高度测量。

实际测量方案应结合样品材料、表面状态、目标缺陷或结构尺度、生产节拍、数据接口和环境条件建立。

选型提示

建议重点确认检测或测量原理、样品尺寸、灵敏度或分辨率、扫描范围、自动化接口、数据分析软件、所需探测通道及附件。历史型号还应确认服务、软件和备件支持情况。