ZYGO NewView 9000 三维光学轮廓仪

产品概述

采用相干扫描干涉技术的非接触三维光学轮廓仪，可快速测量光滑、粗糙、平坦、倾斜和台阶表面，在各倍率下提供亚纳米级精度。

核心特点

• 非接触相干扫描干涉三维测量
• 各倍率下提供亚纳米级精度
• 1.9 MP 大面积高灵敏度传感器
• 支持手动至全自动平台及大面积拼接

典型应用

适用于表面粗糙度、波纹度、平面度、台阶高度、薄膜和微结构测量，以及实验室和生产质量控制。

选型提示

根据样品尺寸、目标视野、自动化程度和预算选择平台配置，并确认物镜、变倍、薄膜分析、拼接与隔振选件。

配置与合规说明

页面依据供应商公开资料整理。具体测量能力受样品、光学配置、测量模式、环境和软件选件影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。