ZYGO NewView 9000 三维光学轮廓仪

产品概述

ZYGO NewView 9000 是兼顾通用性与精度的非接触三维光学轮廓仪，利用白光相干扫描干涉获取微观表面高度数据。系统提供多种平台和自动化配置，并通过 Mx 软件完成纹理、台阶、形貌及薄膜分析，适合研发和质量检测。

ZYGO NewView 9000 三维光学轮廓仪 的页面内容按照型号 NewView 9000 对应的制造商公开资料整理，重点保留对方案设计和采购选型有用的信息。

核心特点

• 测量方式：非接触三维表面测量。
• 垂向性能：亚纳米级表面高度分辨能力。
• 倍率影响：垂向精度不依赖物镜倍率。
• 测量内容：粗糙度、纹理、波纹度、平面度。
• 台阶高度：支持。
• 薄膜分析：支持 Mx Films 配置。
• 自动平台：提供自动载物台配置。
• 拼接测量：支持。
• 分析软件：ZYGO Mx。

典型应用

精密加工、光学元件、半导体、MEMS、涂层、粗糙度和台阶高度测量、生产质量控制。

实际方案需结合样品尺寸、材料特性、目标缺陷或测量范围、节拍、自动化程度以及数据输出要求进行设计。

选型提示

选型时建议逐项确认测量原理、样品尺寸、空间与高度范围、精度和重复性、扫描速度、光学配置、自动平台、软件分析功能以及现场安装条件。系列产品和可选模块应按具体料号确认。