ZYGO Nexview NX2 全自动三维光学轮廓仪

产品概述

ZYGO Nexview NX2 是采用相干扫描干涉技术的旗舰级非接触三维光学轮廓仪。系统面向亚纳米级表面测量，集成自动 200 mm 载物台与高负载倾斜校正，可在不同倍率和多种表面反射条件下完成粗糙度、台阶、形貌和薄膜分析。

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核心特点

• 测量方式：非接触三维光学轮廓测量。
• 垂向精度：亚纳米级，与物镜倍率无关。
• XY 载物台：自动 200 mm 集成载物台。
• 倾斜平台：集成 ±4° 高负载倾斜平台。
• 倾斜校正：支持共心校正。
• 测量内容：形貌、粗糙度、波纹度和平面度。
• 台阶测量：支持。
• 薄膜分析：支持。
• 自动化：支持自动测量与拼接。

典型应用

半导体、精密光学、MEMS、先进制造、表面粗糙度、波纹度、平面度、台阶高度和薄膜形貌。

实际方案需结合样品尺寸、材料特性、目标缺陷或测量范围、节拍、自动化程度以及数据输出要求进行设计。

选型提示

选型时建议逐项确认测量原理、样品尺寸、空间与高度范围、精度和重复性、扫描速度、光学配置、自动平台、软件分析功能以及现场安装条件。系列产品和可选模块应按具体料号确认。