ZYGO Nexview NX2 全自动三维光学轮廓仪

产品概述

ZYGO 旗舰级全自动三维光学轮廓仪，采用相干扫描干涉（CSI）技术，可在不同倍率下实现亚纳米级精度，并测量从超光滑表面到陡峭粗糙表面的三维形貌。

核心特点

• 相干扫描干涉技术实现非接触三维测量
• 不同倍率下具备亚纳米级精度
• 1.9 MP 高灵敏度传感器与 True Color 成像
• 200 mm 自动平台并集成 ±4° 倾斜调整

典型应用

适用于半导体、精密光学、MEMS、微结构、薄膜、精密加工件的粗糙度、台阶、平面度、波纹度和三维形貌测量。

选型提示

重点确认表面反射率、粗糙度、最大坡度、台阶量程、测量视野、自动平台行程、薄膜分析及防振环境。

配置与合规说明

页面依据供应商公开资料整理。具体测量能力受样品、光学配置、测量模式、环境和软件选件影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。