布鲁克 Bruker ContourX-500 全自动台式三维光学轮廓仪

产品概述

全自动台式白光干涉三维光学轮廓仪，结合编码 XY 平台、自动倾斜测头和集成隔振，在紧凑体积内实现高精度表面形貌与粗糙度计量。

核心特点

• 垂直分辨率低于 0.01 nm
• 最大扫描范围最高约 10 mm
• 150 mm 编码自动 XY 平台
• 自动 ±5° 倾斜测头与自动拼接

典型应用

适用于小型晶圆、精密加工件、生物医学器件、MEMS 和眼科器件的研发、QA/QC 与自动化三维表面计量。

选型提示

适合要求高自动化的中小样品；若需要 300 mm 平台、更高吞吐量或落地式生产配置，应与 ContourX-1000 比较。

配置与合规说明

页面依据供应商公开资料整理。具体测量能力受样品、光学配置、测量模式、环境和软件选件影响，正式采购以供应商最新规格书、具体料号和技术协议为准。