Bruker ContourX-500 全自动台式三维光学轮廓仪

产品概述

Bruker ContourX-500 是紧凑型全自动台式白光干涉轮廓仪，将编码 XY 平台、自动对焦、自动光强和镜头内 tip/tilt 集成在小型机身中。其垂向分辨率低于 0.01 nm，并支持 USI、PSI 与丰富的表面分析流程。

Bruker ContourX-500 全自动台式三维光学轮廓仪 的页面内容按照型号 ContourX-500 对应的制造商公开资料整理，重点保留对方案设计和采购选型有用的信息。

核心特点

• 垂向分辨率：<0.01 nm。
• 横向分辨率：0.38 µm；AcuityXR 时 0.13 µm。
• 台阶高度准确度：<0.75%。
• 台阶重复性：<0.1%（1σ）。
• 最大扫描速度：37 µm/s（标准相机）。
• 样品反射率：0.05% 至 100%。
• 最大样品坡度：光滑表面 ≤40°；粗糙表面 ≤87°。
• 最大样品高度：100 mm。
• XY 载物台：150 mm 编码自动平台。

典型应用

精密加工、半导体工艺、眼科光学、MEMS、微流控、研发表征和生产质量控制。

实际方案需结合样品尺寸、材料特性、目标缺陷或测量范围、节拍、自动化程度以及数据输出要求进行设计。

选型提示

选型时建议逐项确认测量原理、样品尺寸、空间与高度范围、精度和重复性、扫描速度、光学配置、自动平台、软件分析功能以及现场安装条件。系列产品和可选模块应按具体料号确认。