Dimension Icon
Bruker Dimension Icon 高性能大样品原子力显微镜
适用于大型或多样品的高性能原子力显微镜，提供约 90 × 90 μm 扫描范围、低于 30 pm RMS 垂直噪声和丰富的形貌、力学、电学及磁学模式。
品牌Bruker
型号Dimension Icon
XY 扫描范围90 × 90 µm
Dimension XR
Bruker Dimension XR 高端扫描探针显微镜
面向纳米力学、纳米电学和纳米电化学研究的高性能扫描探针显微镜平台，提供不同专用配置，并支持 PeakForce、DataCube、SECM 和 AFM-nDMA 等模式。
品牌Bruker
型号Dimension XR
平台Dimension Icon 或 Dimension FastScan
NX-Wafer
Park Systems NX-Wafer 全自动晶圆原子力显微镜
面向半导体晶圆厂在线计量的全自动 AFM，可实现晶圆搬运、配方执行、探针交换、多目标扫描、自动分析和报告，并支持自动缺陷复查及 CMP 轮廓测量。
品牌Park Systems
型号NX-Wafer
产品类型全自动晶圆 AFM
FX40
Park Systems FX40 全自动研究级原子力显微镜
面向小样品高分辨率研究的自动化 AFM，集成自动探针交换、激光对准、PSPD 居中和样品导航，并采用正交扫描及 True Non-contact 模式。
品牌Park Systems
型号FX40
产品类型全自动研究级 AFM
SE-2000
Semilab SE-2000 模块化宽光谱椭偏仪
高度模块化的光谱椭偏系统，拥有 70 多种配置，单系统可覆盖约 190 nm 深紫外至 25 μm 中红外，用于复杂多层膜及各向异性材料分析。
品牌Semilab
型号SE-2000
产品类型模块化光谱椭偏仪
µSE-3000
Semilab µSE-3000 微光斑全自动光谱椭偏仪
面向图形化、化合物半导体及 OLED 等样品的微光斑光谱椭偏系统，可配置全自动测量和 300 mm 样品映射，用于局部膜厚及光学性质表征。
品牌Semilab
型号µSE-3000
产品类型微光斑全自动光谱椭偏仪
M-2000
J.A. Woollam M-2000 高速光谱椭偏仪
采用旋转补偿器和 CCD 同步光谱检测，可在最短约 0.05 秒采集完整光谱；不同配置覆盖约 193–1690 nm，适合薄膜表征、原位监控和自动映射。
品牌J.A. Woollam
型号M-2000
椭偏结构旋转补偿器椭偏仪 RCE
VASE
J.A. Woollam VASE 可变角光谱椭偏仪
高精度可变角光谱椭偏仪，标准覆盖 240–2500 nm，并可扩展至 193–4000 nm，用于半导体、介质、聚合物、金属及复杂多层膜的厚度和光学常数研究。
品牌J.A. Woollam
型号VASE
椭偏结构RAE 旋转分析器配 AutoRetarder
IR-VASE Mark II
J.A. Woollam IR-VASE Mark II 红外光谱椭偏仪
将 FTIR 的化学灵敏度与椭偏测量的薄膜灵敏度结合，覆盖约 1.7–30 μm 近红外至远红外光谱，用于薄膜、体材料、载流子和化学组成表征。
品牌J.A. Woollam
型号IR-VASE Mark II
椭偏结构旋转补偿器椭偏仪 RCE
Filmetrics F50
KLA Filmetrics F50 自动薄膜厚度映射仪
采用光谱反射法进行自动多点薄膜厚度映射，可快速测量膜厚和折射率分布；F50 系列按光谱配置覆盖约 0.005 μm 至 2000 μm 的不同膜厚范围。
品牌KLA Filmetrics
型号F50
测量原理光谱反射法
Filmetrics F54-XY
KLA Filmetrics F54-XY 自动薄膜厚度映射系统
在 Filmetrics F20 系列光谱反射测量基础上增加自动 XY 映射，可对图形化或非图形化样品进行膜厚和折射率分布测量，映射速度最高约每秒 2 点。
品牌KLA Filmetrics
型号F54-XY
测量原理光谱反射法
ContourX-500
Bruker ContourX-500 全自动台式三维光学轮廓仪
全自动台式白光干涉三维光学轮廓仪，结合编码 XY 平台、自动倾斜测头和集成隔振，在紧凑体积内实现高精度表面形貌与粗糙度计量。
品牌Bruker
型号ContourX-500
最大扫描范围≤10 mm